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标题 :微纳米机器人及装备
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admin
添加时间:
2014-10-18
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针对MEMS小批量多品种的产业化发展现状以及微电子封装及测试特种装备的需求,通过深入分析MEMS封装 工艺,研究新型封装方法,解决飞行视觉 、精密定位、精密点胶、底应力贴片、系统集成等关键技术,研 制MEMS-IC制造专用封装及测试设备。目前已经得到国家863计划项目、国家重点实验室基金项目以及重庆 川仪等企业横向项目的支持。
针对MEMS制造、生物医学、超精密加工、材料科学等领域对精密作业技术与系统的迫切需求,开展微现粘着 机理及控制、纳米级精密定位、微传感器、微执行器、微加工制造及系统集成等关键技术研究,研制具有微 观作业能力的微机器人及系统。目前已得到苏州市基金、国家重点实验室基金项目以及中国工程物理研究院 及航空618所横向项目的支持。
 
 
 

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